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膜脏也称白压克
日期:2019-07-19 浏览:544

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顾名思义,膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括:灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。(灰尘点和白雾单列)

改善思路:检讨过程,杜绝脏污染。

改善对策:

㈠ 送交洗净或擦拭的镜片不要有过多的不良附着物;

㈡ 加强镀前镜片的洗净率或擦净率;

㈢ 改善上伞后待镀镜片的摆放环境,防治污染;

㈣ 养成上伞作业员的良好习惯,防治镜片污染(指纹印、口水点及其它);

㈦ 加快真空室护板更换周期;

㈧ 充气管道清洁,防治气体充入时污染;

㈨ 初始排气防涡流(湍流),初始充气防过冲;

㈩ 镜片摆放环境和搬运过程中避免油污、水汽(磨边、超声波清洗)污染。

(十一) 工作环境改造成洁净车间

(十二) 将镀膜机作业面板和主机隔开,减少主机产生的有害物质污染镜片。

四/1、灰点脏

现象:镜片膜层表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除,有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。

产生原因:

1、真空室脏,在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

2、镜圈或碟片脏,有浮点灰尘,在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

3、镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。(膜外)

5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏,充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。(膜外)

6、作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)

7、工作环境中灰尘过多

改善思路:杜绝灰尘源

改善对策:

㈠ 工作环境改造洁净车间,严格按洁净车间规范实施。

㈡尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。

㈢真空室周期打扫,保持清洁。

四/2、膜外白雾

现象:镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(又称:可擦拭压克)

分析:膜外白雾的成因较为复杂,可能的成因有:

① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙;

② 蒸发角过大,膜结构粗糙。

③ 温差:镜片出罩时内外温差过大

④ 潮气;镜片出罩后摆放环境的潮气

⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重

⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀

⑦ 膜与膜之间的应力

改善思路:膜外白雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善环境减少吸附的对象。

改善对策:

㈠ 改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)

㈡ 降低出罩时的镜片温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应力。

㈢ 改善充氧(加大),改善膜结构。

㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构

㈤ 离子辅助镀膜,改善膜结构

㈥ 加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水汽)

㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。

㈧ 改善基片表面粗糙度。

㈨ 注意polycold解冻时的真空度。

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