彩客网

成都四盛科技有限公司

成都四盛科技有限公司

彩客网Chengdu sisheng technology co。 LTD。

服务热线:18108131843

原厂直供|销量有限|即日相应|终身维护

联系我们 contact us

手机:18108131843

电话:028–84683690

传真:028–84683696

邮箱:ssvacuum@163.com

地址:成都市经开区(龙泉驿)星光中路龙腾工业城6A-2

资讯中心
当前位置: 彩客网 >  资讯中心
镀膜料点
日期:2019-07-19 浏览:358

微信图片_20190717135023.jpg

膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题,在日企、台企把膜料点称为“斑孔”

顾名思义,膜料点就是蒸镀中,大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面,在基片表面形成点状的突起,有时是个别点,严重时是成片的细点,大颗粒点甚至可以打伤基片表面。

各种膜料的蒸发特性是不一样的,特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异

熔点温度大于蒸发温度的材料,由固态直接气化蒸发,是升华材料;

熔点温度小于蒸发温度的材料,由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发,是非升华材料;

熔点温度与蒸发温度相当的材料,由固态到气态蒸发,边融化边蒸发。是半升华材料。

其中非升华材料最容易产生膜料点,因为液态的膜料继续加热会沸腾,沸腾中膜料中的气泡溢出,飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。

膜料受潮,预熔或蒸镀时水汽逸出,也会造成飞溅产生。

膜料不纯、膜料参杂,即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料,这也是膜料点产生的原因。

改善思路:选用好的膜料、充分预溶、控制速率。

改善对策:

㈠ 选择杂质少的膜料

㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料

㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下

㈣ 精心预熔,MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料,而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。

㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时,防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染,应立即更换。

㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。(勤打扫)。

㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料,蒸发速率不宜高。

㈧ 膜料去潮,将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥

注意:有时膜层内有一些细小的点子,有可能不是膜料点,而是灰尘点,处理的方法与膜料点不良是不同的,应严格区分,分别处理。

盛京棋牌 98彩票注册 555彩票 盛京棋牌官网 波克棋牌 盛京棋牌官网 盛京棋牌 盛京棋牌 彩客网 盛京棋牌